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行業新聞

雙頻激光干涉儀調光路基本流程
發布時間:2022-08-31瀏覽次數:220


在調節雙頻激光干涉儀光路時,請遵循以下基本流程:

1、  將雙頻激光器放置在激光器可調底座(如有)上,通電點亮激光器,等待其預熱;如預熱結束,激光器尾部的“READY” LED指示燈會顯示綠色。鎖定激光器位置。

2、   將所有導光元件初步固定在導光元件可調底座上,并安裝在設計位置;沿著光路順序,逐個調節導光元件。遇到光路分叉時,請先調節反射光路,然后調節投射光路。調節時請注意以下兩點:

a:旋轉激光器出光口的光闌,選擇大光斑(6mm或者9mm光斑),依次調整導光元件的橫向位置,使光束從導光元件通光孔的中心入射,保證光束不會出現消光現象;

b:選擇小光斑(3mm光斑),依次調節各個導光元件的位置。將一平面鏡(前后面平行度較高)緊貼導光元件的反射光出口處,通過調整可調底座的俯仰度和傾斜度,使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導光元件的位置。


3、     裝調完所有的導光元件之后,安裝干涉儀。請遵循以下步驟:

a:確保運動臺上的反射鏡面與運動軸垂直(運動臺的裝配工藝保證)。

b:調節光軸與運動軸平行。初步固定干涉儀,選擇小光斑,在運動臺的光斑位置做個記號(比如在被測對象上貼紙片,在紙片上光斑照射的位置做個記號),將運動臺沿運動方向移動至距干涉儀近端與遠端,通過調整離干涉儀的導光件使得激光束入射到測量鏡的位置始終嚴格保持不變。反復將運動臺移動至近端與遠端,微調導光件位置以達到較佳效果。

c:微調干涉儀的位置,使干涉儀出光面處測量光斑和參考光斑重合。

d:切換成大光斑,確認參考光斑和測量光斑重合,且光斑形狀完整(不消光)。

e:安裝光纖耦合器。

f:連接光纖至信號處理卡。


   


   





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塞舌爾網友
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