<menuitem id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></menuitem>
<ins id="lzfnp"></ins>
<cite id="lzfnp"><video id="lzfnp"></video></cite>
<var id="lzfnp"><strike id="lzfnp"><listing id="lzfnp"></listing></strike></var>
<var id="lzfnp"><dl id="lzfnp"><listing id="lzfnp"></listing></dl></var>
<var id="lzfnp"></var><cite id="lzfnp"></cite>
<menuitem id="lzfnp"><video id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></video></menuitem>
<cite id="lzfnp"><span id="lzfnp"></span></cite><cite id="lzfnp"></cite>
<var id="lzfnp"><strike id="lzfnp"></strike></var>
<var id="lzfnp"><video id="lzfnp"><menuitem id="lzfnp"></menuitem></video></var>
<var id="lzfnp"></var>
<var id="lzfnp"></var>
<menuitem id="lzfnp"></menuitem>
<var id="lzfnp"><video id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></video></var>
您好!歡迎光臨北京鐳測科技有限公司
北京鐳測科技有限公司
聯系我們
北京鐳測科技有限公司
聯系人:楊女士
電話:010-65661451
郵箱:leice@leice.com
地址:北京市朝陽區新管莊科技園

雙頻激光干涉儀

LH1000雙頻激光干涉儀

產品描述:

光刻機專用雙頻激光干涉儀
可構建XY位移臺等多軸測量系統
采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器
無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差
大功率可同時測量更多數量的軸向位移
大頻差,測量速度更快

服務熱線:4008168900
立即咨詢

Information in English:

LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf

Nonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf


專為光刻機配套開發的高精度測量系統;

通過國家重大專項“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

非線性高精密測量系統,測量更精準;

可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統;

精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。

(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀



型號

頻差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

穩頻精度(ppm)

LH1000A

1.5±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.5±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.5±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.5±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.5±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.5±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.5±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.5±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.5±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:可根據需求定制更小頻差范圍。

微信截圖_20210616121113.png

 


懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

圖片1.jpg


網友評論

管理員

該內容暫無評論

塞舌爾網友
4008168900
亚洲综合一区二区,国产精品无需播放器在线观看,国产亚洲综合久久系列,国产强被迫伦姧在线观看无码
<menuitem id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></menuitem>
<ins id="lzfnp"></ins>
<cite id="lzfnp"><video id="lzfnp"></video></cite>
<var id="lzfnp"><strike id="lzfnp"><listing id="lzfnp"></listing></strike></var>
<var id="lzfnp"><dl id="lzfnp"><listing id="lzfnp"></listing></dl></var>
<var id="lzfnp"></var><cite id="lzfnp"></cite>
<menuitem id="lzfnp"><video id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></video></menuitem>
<cite id="lzfnp"><span id="lzfnp"></span></cite><cite id="lzfnp"></cite>
<var id="lzfnp"><strike id="lzfnp"></strike></var>
<var id="lzfnp"><video id="lzfnp"><menuitem id="lzfnp"></menuitem></video></var>
<var id="lzfnp"></var>
<var id="lzfnp"></var>
<menuitem id="lzfnp"></menuitem>
<var id="lzfnp"><video id="lzfnp"><thead id="lzfnp"></thead></video></var>